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PRODUCT CLASSIFICATION

EBARA荏原

干式真空泵

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EBARA荏原高負(fù)荷工藝干式真空泵半導(dǎo)體用

EBARA荏原高負(fù)荷工藝干式真空泵半導(dǎo)體用 EV-M505SF
池田屋實業(yè)優(yōu)勢供應(yīng) ，并提供報價圖片

更新時間：2025-03-22
產(chǎn)品型號：EV-M505SF
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
訪問量：247

立即咨詢

聯(lián)系電話：0755-22220219

產(chǎn)品詳情

EBARA荏原高負(fù)荷工藝干式真空泵半導(dǎo)體用 EV-M505SF

EBARA荏原高負(fù)荷工藝干式真空泵半導(dǎo)體用 EV-M505SF

EV-M型

適合節(jié)能和高負(fù)荷工藝的干式真空泵

高負(fù)荷工藝支持

高溫控制

節(jié)能

采用耐腐蝕材料作為標(biāo)準(zhǔn)

提高耐腐蝕性的選擇

不同頻率下性能相同（50/60Hz）

無油

符合 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 要求

產(chǎn)品介紹

荏原的高溫技術(shù)支持半導(dǎo)體、液晶顯示器和太陽能電池制造過程中產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物的高負(fù)荷工藝。

高節(jié)能性能可同時實現(xiàn)高負(fù)荷工藝和節(jié)能。

標(biāo)準(zhǔn)配置為耐腐蝕材料，并且還包括排量為110,000 L/min的大排量型號。

我們擁有適合各種工藝條件的豐富產(chǎn)品陣容，能夠處理各種高負(fù)荷工藝。

規(guī)格

模型		單元	EV-M20N	EV-M102N	EV-M202N	EV-M302N	EV-M502N	EV-M505SF	EV-M802N	EV-M805SF	EV-M1205SF
抽氣速度		升/分鐘	1,800	10,000	20,000	30,000	5萬	5萬	8萬	8萬	110,000
極限壓力		帕	5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
連接尺寸	進(jìn)氣		NW40	ISO100	ISO100	ISO100	ISO160	ISO160	ISO200	ISO200	ISO200
連接尺寸	排氣口		NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
極限壓力下的近似功率值		千瓦	1.2	1.8	1.9	2.3	2.1	3.9	2.8	4.6	5.3
冷卻水	流動	升/分鐘	3~8	3~8	3.5~8	4~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
冷卻水	溫度	℃	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30
氮?dú)?/td>	流動	帕•立方米/秒	26~31	26~31	26~31	26~31	28~33	228	28~33	228	34~35
電源相位/電壓/頻率	200V 型號		三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
電源相位/電壓/頻率	400V 型號		三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	-	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz
供電容量		千伏安	3.3	5.4	6	6.8	7.1	15.7	8.3	19.4	14.2
近似質(zhì)量		公斤	170	320	360	400	500	580	740	820	870

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